性能特點(diǎn)如下:Technoorg 出的Gentle Mill系列產(chǎn)可用于*終拋光、很容易對先在標準高能離子減薄儀上或FIB上處理過(guò)的樣進(jìn)行清潔及改善性能。推薦用戶(hù)選擇Gentle Mill型號來(lái)進(jìn)行樣制備
無(wú)合成產(chǎn)物
幾乎無(wú)損壞
*佳質(zhì)量的XTEM(截面透射電鏡),HRTEM(高分辨透射電鏡)或STEM(掃描透射電鏡)樣制備。
這些配置的離子減薄儀也可適用于對磨凹(凹坑)處理過(guò)的或薄的(< 25 μm)、平面的、被機械拋光的樣進(jìn)行快速減薄。
*主要特點(diǎn):*主要特點(diǎn)點(diǎn):Gentle Mill溫和型低能離子減薄儀(型號IV5/IV8)為*的制備高質(zhì)量TEM/FIB樣的離子減薄工作站
*的低能離子源:Gentle Mill離子束工作站所用的熱陰低能離子源,具有令人矚目的技術(shù)。其低能量的離子束確保使表面損壞及離子束誘導的無(wú)定形物減至*小限度。獨特的離子源結構允許高離子束電流密度。所有離子槍參數包括加速電壓及陰電流由數字反饋回路全自動(dòng)控制,但它們在樣制備過(guò)程中也可手動(dòng)進(jìn)行改變。離子源參數的初始值既可自動(dòng)也可手動(dòng)設置,并可在電腦顯示屏中連續顯示。
無(wú)合成產(chǎn)物的樣制備:Gentle Mill在低能量離子轟擊時(shí)對樣無(wú)損壞的獨特能力,在應用科學(xué)及材料研究域中,給用戶(hù)提供了研究合成材料及自然材料中實(shí)納米結構的工具。
對TEM/FIB樣進(jìn)行清潔及后處理的快速、可靠的方法
獨立用戶(hù)模式,帶有預編程設置的自動(dòng)操作:第三代Gentle Mill 3(型號IV8)為全計算機控制,通過(guò)易使用的圖形界面操作。所有減薄參數包括離子源的設置、氣流量控制、其它減薄參數如樣移動(dòng)及傾斜角度的設置、穿孔檢測等可以被貯存,或以任意步數進(jìn)行預編程。這種全自動(dòng)特點(diǎn)減少了人為干預,可制備高質(zhì)量的樣。自動(dòng)終止功能為圖像分析模塊支持的減薄過(guò)程的光學(xué)終止(探測樣穿孔或監視樣表面形貌)。Gentle Mill 3配有軟件擴展功能,可實(shí)現在線(xiàn)技術(shù)支持,通過(guò)網(wǎng)絡(luò )進(jìn)行即時(shí)故障偵測及問(wèn)題排除。
樣進(jìn)樣系統:空裝載鎖定系統,可進(jìn)行快速樣換;全機械、無(wú)膠合樣裝載機構;對XTEM樣特別設計的鈦框架及封裝技術(shù)
可應用于工業(yè)環(huán)境研究
專(zhuān)門(mén)設計,可直接用于Hitachi的FIB-STEM/TEM系統3D樣托:基于Hitachi的FIB/STEM 和Technoorg的Gentle Mill 離子束工作站,Hitachi 與Technoorg合作共同提供了個(gè)完整方案用于特定要求低損壞樣的制備。半自動(dòng)和全自動(dòng)的Gentle Mill型號具有低能量離子減薄及清潔能力,可用于FIB樣制備的*后步驟來(lái)去除無(wú)定形物或損壞的表面層。這些型號可允許直接插入Hitachi的3D FIB/STEM樣桿,因而樣制備時(shí)間可大大地減少。
分類(lèi): Gentle Mill(型號為IV5),為計算機控制的標準型號;Gentle Mill 3(型號為IV8),為全自動(dòng)型號;Gentle Mill Hi and Gentle Mill 3 Hi為與Hitachi FIB/STEM系統兼容的型號。
技術(shù)參數:離子能量:100 - 2000 eV,連續可調
離子電流密度:*大10 mA/cm2
離子束流:7 - 90 uA,連續可調
離子束直徑:750 - 1200 um (FWHM)
減薄速率:2000 eV離子能量及30度離子束入射角時(shí),c-Si上的減薄速率為28 um/h
樣臺
減薄角度:0 - 45°,電子調節步長(cháng)為0.1°
計算機控制樣平面旋轉
搖擺(0- 120°角度范圍,電子調節步長(cháng)為10°)
出眾的厚度范圍:涵蓋TEM樣厚度(30 - 200 um)
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